4.3.4　微放电引起信号相位变化

图4-9　微放电功率电压和噪声功率电压之间的关系

图4-10　固定极板间尺寸的微放电功率电压和噪声功率电压之间的关系

图4-11　微放电引起信号相位的变化

（a）E p＝50 Vpk，微放电发生前P m＝0W，I＝19.2 mApk；（b）E p＝60 Vpk，微放电开始P m＝0.24 W，I＝115.2 mApk；（c）E p＝70 Vpk，微放电时P m＝0.75 W，I＝202 mApk；
（d）E p＝78 Vpk，微放电时P m＝0.88 W，I＝115.2 mApk

微放电发生时，被测件内部失谐，信号相位发生变化，如图4-11所示为用示波器的两个通道观测到的微放电前后信号的相位变化。示波器一个通道是参考信号相位，另一个通道则用于检测微放电时的信号相位。微放电前，微放电信号相位和参考信号相比，相位差值近似为零；微放电时，微放电信号相位和参考信号相位相比发生了剧烈变化。随着极板间功率的增大，微放电剧烈，相位差值增大。

微放电引起以上信号的变化，从信号能量的角度而言，对于无源部件，没有新的能量加入，能量发生迁移会引起射频载波幅度的下降。研究以上微放电过程对信号的影响，对于微放电检测方法的研究具有重要意义。