14.4　压电加速度传感器

压电加速度传感器（图14-16）是基于压电效应的一种传感器，属于自发电式的机电转换传感器。其敏感元件由压电材料制成，如石英晶体、压电陶瓷和压电薄膜等。传感器内置的质量块感受加速度并对压电材料造成压力，压电材料表面产生电荷。此电荷经放大电路放大后成为正比于所受加速度的电量输出。

图14-16　各种形式的压电加速度传感器

压电加速度传感器频带宽、灵敏度高、信噪比高、结构简单，至今仍广泛应用于冲击、振动测量中。在基于MEMS工艺的压阻式加速度传感器技术成熟前，核试验物理效应测量、侵彻力学测试等恶劣力学环境试验中主要使用这种传感器。(https://www.daowen.com)

由于其输出阻抗较高，在实际使用中必须考虑阻抗匹配和放大方式等问题。