14.5　压阻式传感器

当半导体材料在某一方向上承受应力时，其电阻率发生显著变化，这种现象称为半导体压阻效应。利用半导体的压阻效应制成的传感器称为压阻式传感器，可用于测量压力、加速度和载荷等参数。压阻式传感器包括可粘贴的半导体应变片和扩散型压阻传感器。本节所指的压阻式传感器特指后一种扩散型压阻传感器，这是一种利用半导体材料的基片以集成电路工艺制成的芯片式传感器。

与压电式传感器相比，压阻式传感器具有以下特点：频率响应高，适于动态测量；体积小，适于微型化，可靠性高，内部无活动部件，能适应大振动、高冲击、有腐蚀、强干扰等恶劣环境的应用需求。对于侵彻弹药引信这种特殊应用场合，压阻式加速度传感器以其独特的优点，得到了广泛的应用。(https://www.daowen.com)