量具用钢的热处理关键是要保证量具具有高的尺寸稳定性。淬火应力的松弛，马氏体的分解，残留奥氏体的转变，是引起量具在保存和使用过程中尺寸变化的因素。因此，一般量具热处理的特点是：淬火后进行深冷处理（温度在-50～-80℃），使残留奥氏体转变为马氏体，然后低温回火（150～160℃），以减少淬火应力，保证较高的硬度，并使淬火马氏体转变为回火马氏体。为使量具尺寸进一步稳定，在精磨后再进行一次时效处理。
