与气体渗碳相比有如下优点：
1）可以在较低温度下，及在同样时间内获得同样渗层深度；或在处理温度相同的情况下，共渗速度较快。
2）碳氮共渗在工件表面、炉壁和发热体上不析出炭黑。
3）处理后零件的耐磨性比渗碳的高。
4）工件扭曲变形小。
