20.1  简介

如何诠释喷墨打印的优势和局限性在微细加工技术行业中的立足之地是本书反复出现的主题，这同样适用于喷墨打印技术应用于微机电系统（MEMS）中的价值。和一般的半导体制作技术相比，喷墨打印提供了多种材料沉积的可能性、数据驱动的快速成型模式、低耗材、广泛的基板材料兼容性以及纯材料的成型（例如不添加光引发剂）^[1]。

尽管拥有这些优点，喷墨打印和传统半导体制作工具相比仍有一些局限。喷墨打印的分辨率比光刻技术更低，沉积是连续的而非平行的，而且在大面积沉积方面喷墨打印的成本比丝网印制更高。

本章以下各部分主要论述喷墨打印在MEMS制造中的应用。首先，对喷墨技术在抗蚀剂和蚀刻中的应用进行论述；其次，对喷墨打印在MEMS中做涂层或添加剂的过程中的应用进行举例说明；接着，对喷墨打印在光学MEMS制造中的应用进行讨论；最后，本章对喷墨打印在MEMS封装中的应用以及其在后加工功能中的潜力进行了讨论。