物理气相沉积的特点及应用

1）采用物理气相沉积技术可以在各种材料上沉积致密、光滑、高精度的化合物（如TiC、TiN）镀层，所以十分适合模具的表面热处理。目前，应用物理气相沉积制备TiC、TiN等镀层已在模具生产中获得应用。

① Cr12MoV钢制油断路器精冲模，经物理气相沉积后，表面硬度为2500～3000HV，摩擦因数减小，抗粘着和抗咬合性改善，模具原使用1万～3万次即要刃磨，经物理气相沉积处理后，使用10万次不需要刃磨，尺寸无变化，仍可使用；用于冲压和挤压粘性材料的冷作模具，采用物理气相沉积处理后，其使用寿命大为提高。

② 65Nb和LM2钢制造的电池冲模采用物理气相沉积TiN，提高了硬度，减小了摩擦力，其使用寿命由常规处理的6万～10万件提高到20万件以上。(https://www.daowen.com)

2）物理气相沉积具有沉积温度低（通常<550℃）、沉积速度较快、沉积层成分可以控制、工件几乎无变形及无公害等优点，因而有很高的实用价值。特别适用于冷作模具，尤其是精度要求高的冷作模具。

3）物理气相沉积绕镀性比较差，不适合对有小孔、凹槽等的复杂模具进行处理，镀层的均匀性稍差，加之设备造价高，操作、维护的技术要求也较高。