等离子化学气相沉积的工作原理

等离子化学气相沉积的工作原理与直流辉光离子渗氮相似，其装置示意图如图9-29所示。

1）工件置于阴极上利用辉光放电或外热源使工件升到一定的温度后，通入适量的反应气，经过化学和等离子体反应生成沉积薄膜。(https://www.daowen.com)

图9-29 等离子化学气相沉积装置示意图

1—直流电源 2—炉体 3—气体混合器 4—流量计 5—微调阀 6—氮气瓶 7—氢气瓶 8—氢气纯化器 9—TiCl₄瓶 10—真空泵 11—冷阱

2）在反应过程中，由于存在辉光放电过程，气体剧烈电离而受到活化，因此反应温度较化学气相沉积可以大大下降。