化学气相沉积的应用

1）化学气相沉积镀层可应用于要求耐磨、抗氧化、耐腐蚀以及有某些电学、光学和摩擦学性能的部件。耐磨镀层一般采用难熔的硼化物、碳化物、氮化物和氧化物。耐磨镀层主要用于金属切削刀具。满足这些要求的镀层包括TiC、TiN、Al₂ O₃、TaC、HfN和TiB₂以及它们的组合。除刀具外，化学气相沉积镀层还可用于其他承受摩擦磨损的设备，如泥浆传输设备、煤的气化设备和矿井设备等。

2）在模具制造业，由于化学气相沉积温度高、涂层结合牢固，而且可对形状复杂或带有沟、槽及孔的工件进行均匀涂覆，因此应用广泛。TiC等涂层硬度相当高，可达3000HV，耐磨性好，摩擦因数小，具有很好的减摩性和抗咬合性，可提高模具的使用寿命。化学气相沉积TiC、TiN、Ti（C，N）的应用效果见表9-26。

表9-26 化学气相沉积TiC、TiN、Ti（C，N）的应用效果(https://www.daowen.com)