9.6.3  离子注入技术

离子注入技术是将注入元素的原子电离成离子，在电场中加速获得较高速度后射入放在真空靶室中的工件表面的一种表面处理技术。由于被注入离子是以很高的速度强行注入的，所以，不受基体金属中的扩散速率以及固溶度的限制，可获得高度过饱和固溶体、亚稳定相、非晶态和平衡合金等不同的组织结构形式，从而改善了工件的使用性能。