物理气相沉积与化学气相沉积比较

物理气相沉积以各种物理方法产生的原子或分子沉积在基材上形成外加覆盖层，工件沉积温度一般不超过600℃。模具钢沉积后通常都无须进行热处理，因而其应用比化学气相沉积广。近年来研究开发的离子镀在模具表面强化方面获得应用，它既保留了化学气相沉积的本质，又具有物理气相沉积的优点，效果较显著。化学气相沉积镀膜耐磨、抗氧化、耐腐蚀，减摩性和抗咬合性好，主要应用于高温耐磨场合。

三种PVD法与CVD法的特性比较见表9-27。

表9-27 三种PVD法与CVD法的特性比较(https://www.daowen.com)