化学气相沉积的特点

（1）沉积温度

在中温或高温下，通过气态的初始化合物之间的气相化学反应而沉积固体。可以在大气压（常压）或者低于大气压（低压）的条件下进行沉积，一般低压效果要好些。采用等离子和激光辅助技术可以显著地促进化学反应，使沉积可在较低温度下进行。

（2）镀层性质

镀层的化学成分可以改变，从而获得梯度沉积物或者得到混合镀层。可以对镀层进行控制，确定镀层的密度和纯度。绕镀性好，可在复杂形状基体上以及颗粒材料上镀制。(https://www.daowen.com)

（3）镀层结构

气流条件通常是层流，在基体表面形成边界层。沉积层通常为柱状晶结构，不抗弯曲，但通过各种技术对化学反应进行气相扰动，可以得到细晶粒的等轴沉积层。可形成多种金属、合金、陶瓷和化合物镀层。