离子注入的特点

1）离子注入法不同于任何热扩散方法，可注入任何元素，且不受固溶度和扩散系数的影响，因此，用这种方法可能获得不同于平衡结构的特殊物质，是开发新型材料的非常独特的方法。

2）离子注入温度和注入后的温度可任意控制，且在真空中进行，不氧化、不变形、不发生退火软化，注入层薄、工件尺寸基本不变、表面粗糙度也一般无变化，可作为最终工艺。

3）可控性和重复性好，通过改变离子源和加速器能量，可以调整离子注入深度和分布，通过可控扫描机构，不仅可实现在较大面积上的均匀化，而且可以在很小的范围内进行局部改性。

4）可获得两层或两层以上性能不同的复合材料，复合层不易脱落。(https://www.daowen.com)

5）离子注入层薄（<1μm），离子只能直线行进，不能绕行，形状复杂和有内孔的工件不能进行离子注入，设备造价高，应用不广泛。

图9-32 离子注入系统示意图