高速运动的电子具有波的性质，当高速电子束照射到金属表面时，电子能深入金属表面一定深度，与基体金属的原子核及电子发生相互作用。电子与原子核的碰撞可看成弹性碰撞，因此，能量传递主要是通过电子束的电子与金属表层电子碰撞而完成的。所传递的能量立即以热能的形式传给金属表层原子，从而使被处理金属的表层温度迅速升高。目前电子束加速电压达125kV，输出功率达150kW，能量密度达103 MW/m2，因此，电子束加热的深度和尺寸比激光大。
