延安时期行政督察专员公署的设置
据统计，截止到1945年3月，各抗日根据地共建立了104个专员公署[4]。以下对陕甘宁边区、华北抗日根据地[5]和华中抗日根据地专署设置，做以大体考察。
1.陕甘宁边区专署的设置。1937年10月12日，经国民政府行政院例会正式通过，陕甘宁边区的辖区包括陕西的绥德、米脂、佳县、吴堡、清涧、神府（神木、府谷各一部分）、延川、延长、肤施（即延安）、甘泉、富县、旬邑、淳化、靖边、定边、安定、安塞、保安；甘肃的庆阳、合水、镇原、宁县、正宁、环县；宁夏的盐池、豫旺共26县。后国民政府违背诺言，又先后占去淳化、旬邑、正宁、宁县、镇原、豫旺6个县城及村镇数千处。1941年11月后，边区政府将所辖地域重新进行了划分，并将原庆（阳）环（县）专署并入陇东分区，具体划分如下：[6]
直属县市（后称延属分区）：延安市、延安县、富县、甘泉、固临（陕西宜川四个区、甘泉一个区，新建的县，又叫固林，初名红宜）、延川、安塞、安定、延长、志丹、靖边、神府（陕西神木五个区、府谷一个区）。
三边分区：辖盐池、定边。
绥德分区：辖绥德、米脂、葭县、吴堡、清涧。
关中分区：辖新正（甘肃正宁一个区、陕西旬邑四个区）、新宁（甘肃宁县）、赤水（陕西旬邑与淳化的一部分）、淳耀（陕西淳化三个区、耀县两个区），以及同宜耀（由陕西同官、宜君、耀县组成，称关中东行政区）。
陇东分区：辖庆阳、合水、镇原（甘肃镇原一部分）、曲子（由甘肃庆阳马领区、固原三岔区、环县五个区组成）、环县、华池（甘肃庆阳大部分，陕西定边、靖边各一部分）。
2.华北抗日根据地专署的设置。华北抗日根据地主要包括晋察冀抗日根据地、晋冀鲁豫抗日根据地、晋绥抗日根据地和山东抗日根据地。由于处于敌后特殊环境，各根据地辖区变动及调整较多，因而，在选取各根据地专署行政区划时，尽可能地选取了辖区相对固定的年份做考察。
晋察冀边区专署的设置。1944年11月，拥有4个行政公署，设18个专署，辖119个县。具体行政区划如下：
冀晋行署（共4个专区，27县）
第二专区：辖五台、盂平、定襄、盂阳、忻县、崞代、盂寿、寿榆、阳曲；
第三专区：辖阜平、曲阳、唐县、完县、定唐、云彪；
第四专区：辖平山、灵寿、平定、行唐、井陉、建屏、正定；
第五专区：辖灵丘、繁峙、应县、浑源、山阴。
冀察行署（共3个专区，21县）
第一专区：辖易县、满城、徐水、涞源、龙华、定易涞、蔚阳、广灵；
第十一专区：辖昌宛房、房涞琢、涞水、怀琢、昌宛怀、蔚涿宣；
第十二专区：辖龙赤、龙崇赤、龙延怀、昌延、滦昌、怀顺、龙崇宣。
第十三专区：辖蔚县、阳原、宣化、怀安、万全、天镇、广灵。
冀中行署（共5个专区，42县）
第六专区：辖深南、深束、束冀、晋南、藁城、正获、赵元宁、赵县、宁晋、滦城；
第七专区：辖藁元、新乐、定南、深极、安国、深北、束晋、安平；
第八专区：辖饶阳、武强、献县、献交、交河、建国、大城、任河、河间；
第九专区：辖安新、肃宁、博野、里县、之光、任丘、高阳、清苑、文新、静大；
第十专区：第一联合县、第二联合县、第三联合县、第四联合县、平南办事处。
冀热辽行署（共5个专区，22县）
第十四专区：辖丰滦密、承兴密、蓟遵兴、平三蓟；
第十五专区：辖迁遵青、承平宁、承一青、青平、迁滦丰；
第十六专区：辖迁芦、抚昌、迁芦青、临抚昌、凌青绥；
第十七专区：辖昌乐、丰滦、滦芦；
第十八专区：辖遵化、武宝宁、蓟玉宝、丰玉宁、丰玉遵。
晋绥边区专署的设置。晋绥边区政府，包括山西省、绥远省（今内蒙古自治区）、陕西省3个省，包括晋西南抗日根据地、晋西北抗日根据地、大青山抗日游击根据地三大抗日根据地。1945年，共设9个专员公署（含1个代管区），辖41个县，具体行政区划如下：
一专署：辖兴县、岚县、神府3个县；
二专署：辖河曲、保德、五寨、岢岚、神池5个县；
三专署：辖临县、临南、离石、离东、方山5个县；
六专署：辖宁武、静宁、忻县、崞县4个县；
八专署：辖交城、交西、阳曲、静乐和文汾、清太徐2个联合县，共6个县。
此外，绥蒙区下设绥西、绥中、绥南3个专署和1个代管区五分区，实辖18县（大怀县未成立县政府，也无工作，不计算在内），除少数县，多为游击区，辖县情况并不固定。
晋冀鲁豫边区专署设置情况。1941年7月，晋冀鲁豫边区临参会选举成立边区政府后，统一了冀南、太行、太岳、冀鲁豫4个区域。共设冀南、太岳、冀鲁豫3个行署（太行改为太行区为边府直辖未设行署），22个专署，159个县。
太行区（41个县）(https://www.daowen.com)
第一专署：内丘、临城、赞皇、获鹿、高邑、元氏、井陉、平东、昔东、和东，共10个县。
第二专署：平（定）西、昔（阳）西、和（顺）西、寿阳、榆次、太谷，共6个县。
第三专署：祁县、榆社、武乡、襄垣、辽县、武西、辽西，共7个县。
第四专署：黎城、平（顺）北、平（顺）南、潞城、长治、壶关，共6个县。
第五专署：林（县）北、安阳、偏城、武安、涉县、磁县，共6个县。
第六专署：邢（台）东、邢（台）西、武（安）北、沙河、沁县，共5个县。
沁源为行署直辖县。
太岳行署（22个县）
第七专署：霍县、灵石、漳沅、绵上、平遥、介休、襄南、屯留、漳西，共9个县。
第八专署：岳阳、安泽、洪洞、赵城，共4个县。
第九专署：曲沃、翼城、襄陵、沁水、浮山、临汾、冀氏、临屯、路南，共9个县。
冀南行署（49个县）
第十专署：大名、成安、魏县、元城、漳河、临漳，共6个县。
第十一专署：宁南、柏乡、隆平、尧山、任县、南和、平乡、巨鹿、新河，共9个县。
第十二专署：鸡泽、曲周、永年、邯郸、肥乡、永肥、广平、广曲、邱县、馆陶，共10个县。
第十三专署：南宫、威县、广宗、企之、垂阳、清河、清江、临清，共8个县。
第十四专署：冀县、衡水、武邑、阜东、枣北、枣南、景北、景南、故城，共9个县。
第十五专署：武城、夏津、高唐、平原、恩县、德县、禹城，共7个县。
冀鲁豫公署（47个县）
第十六专署：泰安、肥城、平阴、长清、宁阳、东平，共6个县。
第十七专署：济宁、济上、巨野、郓城、鄄县、寿张、观城、磁阳、嘉祥、城武、范县、濮县，共12个县。
第十八专署：堂邑、莘县、清平、冠县、朝城、南和，共6个县。
第十九专署：禹城、清平、博平、张秋、济河、荏平、东阿、阳谷，共8个县。
第二十专署：南乐、内黄、安阳、衡河、汤阴，共5个县。
第二十一专署：濮阳、东明、长垣、滑县、溶县，共5个县。
第二十二专署：菏泽、曹县、民权、定陶、考城，共5个县。[7]
行署直辖市：济宁、菏泽。
山东省政府专署的设置。1945年8月13日，山东省政府成立，拥有胶东、鲁中、鲁南、渤海、滨海5个行政公署，设21个专员公署、1个市，辖120个县级单位。其具体的行政区划是：
胶东行署：（共4个专署区，29个县、1个特区，另有1个行署直辖市）
北海专署：辖蓬莱、福山、东栖、栖霞、北招、黄县等6县和龙口特区；
西海专署：辖潍北、潍南、昌北、昌南、北掖、南掖、平西、平北等8县；
南海专署：辖即东县、即西、胶高、平南、五龙、平东、莱西等7县；
东海专署：辖荣成、石岛、文登、昆嵛、牟平、乳山、海阳、牙前等8县；
行署直辖市：烟台。
鲁中行署（共5个专署区，26县）
泰山专署：辖泰安（北部）、莱芜、博莱、章丘、历城、淄川、泰历等7县；
沂蒙专署：辖沂南、沂东、沂临、费东、蒙阴、沂中等6县；
泰南专署：辖泰安（南部）、泰宁、新泰、费北等4县；
沂山专署：辖沂北、莒沂、临东、临朐、安丘、淮安等6县；
鲁山专署：辖沂源、博山、益都等3县。
鲁南行署（共3个专署，13县）
第一专署：辖邹县、费县、温河、双山等4县；
第二专署：辖临沭、兖济、凫山、滕县、峄县等5县；
第三专署：辖临沂、兰陵、邳县、赵镈等4县。
渤海行署（共6个专署，34县）
第一专署：辖乐陵、东光、振华、东南、沧县等5县；
第二专署：辖德平、商惠、匡吾、德县、齐临、平禹、济阳、商济惠等8县；
第三专署：辖盐山、庆云、阳信、靖远、新青等5县；
第四专署：辖沾化、垦利、蒲台、滨县、沾阳棣等5县；
第五专署：辖昌潍、临淄、寿光、广饶、博兴、益临寿广四边等6个县级单位；
第六专署：辖邹平、长山、桓台、高苑、青城等5县。
滨海行署（共3个专署，13县、2个办事处）
第一专署（滨北）：辖胶县、高密、诸城、莒北等4县及海北办事处；
第二专署（滨南）：辖临沂、临沭、郯城、东海、竹庭（赣榆）等5县和新浦办事处；
第三专署（滨中）：辖莒县、莒南、日照、藏马等4县。
3.华中抗日根据地专署的设置。华中抗日根据地共辖8个相互联系又相对独立的抗日根据地，即苏中、淮南、苏北、淮北、鄂豫边、苏南、皖江、浙东。由于华中抗日根据地开辟较晚，又处于中国最富饶的中部，是各种力量争夺的要冲地带，因而其行政区划不像其他抗日根据地那么明显。尤其是在政权建设方面，华中抗日根据地始终未能建立一个统一的领导机构，这也是华中抗日根据地政权建设方面的一个重要特点。在这里仅以苏南、苏中抗日根据地为例，说明华中地区的专署设置情况。
苏南敌后地区，从1941年2月至5月先后设立了6个行政督察专员公署，共辖23个县政府、1个三县行政委员会、2个特区和2个行政办事处，计28个县级抗日民主政权机关。具体划分如下：[8]
第一行政督察专员公署：辖苏州、常熟、太仓、阳澄4县；
第二行政督察专员公署：辖江阴、无锡、沙洲3县及锡北、虞西2行署；
第三行政督察专员公署：辖青浦、昆山、嘉定、南汇4县；
第四行政督察专员公署：辖澄西、武进、山南、山北、扬中5县；
第五行政督察专员公署：辖句容、镇江、江宁3县和丹南行政办事处；
第六行政督察专员公署：辖武南、金坛、溧阳、溧水4县和锡宜武三县行政委员会及金丹武行政办事处。
苏中行政公署，自1941年3月至1942年3月，先后成立4个行政区专员公署，按成立时间顺序，依次是第四行政区专员公署（1941年3月成立）、第三行政区专员公署（1941年4月成立）、第二行政区专员公署（1941年11月成立）、第一行政区专员公署（1942年3月成立），具体辖区如下：
第四行政区专员公署：辖海门、启东、南通、如（皋）东4个县和海启、通海2行署。
第三行政区专员公署：辖如西、泰县、泰兴、靖江、泰东5个县。
第二行政区专员公署：辖泰东（11月份划入）、东台、兴化、台北4个县。
第一行政区专员公署：辖江都、邗东、高邮、宝应4个县。[9]
1944年九十月，先后撤销兴东特委、兴东泰地委、苏中第二地委、第二行政区专员公署和军分区。将台北县并入东台县，划归第四行政区管辖。兴东县并入兴化县，划归第一行政区管辖。调整后的苏中区具体划分如下：[10]
第一行政区下：辖江都、高邮、宝应、兴化4县；
第三行政区下：辖如西、泰县、泰兴、靖江、紫石5县；
第四行政区下：辖南通、入高、东台、东南4县；
第五行政区下：辖武进、丹阳、镇江、扬中、澄西5县；
第六行政区下：辖常熟、太仓、沙洲、锡东、锡北、吴县6县。
中共延安时期之所以大力推行行政督察专员制度，除了要与国民政府行政体制相吻合这一原因外，也与延安时期面临的一些特殊因素有关。延安时期，中共领导下的政权没有自己的中央政府，只有诸多相当于省一级的抗日民主政府。同时，各抗日民主政权大都跨几个省区，如陕甘宁、晋察冀、晋冀鲁豫、鄂豫边等。这种状况就带来了行政管理上的诸多不便，主要体现在：
第一，地域广大，交通不便，跨省区行政管理难。延安时期除陕甘宁边区，各抗日民主根据地多在敌后开辟，为了更好地保存自己，以图进取，他们大多选择依靠大山建立根据地，因而控制区域多是山区和小县城。这样固然保存和壮大了自己的力量，但同时也带来了管理上的诸多不便，尤其是边区一级政府直接管理县级政府就十分困难。这种情况，客观上要求各民主政府将辖区分为若干个行政督察专员公署，来对县级政权实施有效的领导。
第二，抗日民主政府直接领导县，在行政管理上就造成管理幅度过大，难以实行有效管理。据统计，1940年，晋察冀抗日根据地共辖84个县政府，晋冀鲁豫抗日根据地共辖115个县政府，山东省抗日根据地拥有80个县级政权。而且随着根据地的迅速发展，县级政权数量也在不断扩大。到1944年11月，晋察冀抗日根据地已拥有119个县政府；1945年，晋冀鲁豫抗日根据地共辖205个县政府；山东省抗日根据地拥有112个县（市）政府。[11]以上情况表明，为了加强对县级政权的有效管理，在各抗日根据地广泛推行行政督察专员制度是非常必要的。