1988年

广濑洋一［日］发明合成金刚石薄膜的燃烧火焰沉积法 1955年，伯曼（Berman）和西蒙（Simon）提出在高温高压平衡线附近，在催化剂的作用下，过饱和的碳可能凝结为亚稳态的金刚石。同年，美国通用电气公司专门制造了高温高压静电设备，制造出了世界上第一批工业用人造金刚石小晶体，开创了工业规模生产人造金刚石磨料的先河。不久，杜邦公司发明了爆炸法，利用瞬时爆炸产生的高压和急剧升温，获得了几毫米大小的人造金刚石。1957年，塔特尔（Tuttle）和罗伊（Roy）提出用水热法合成金刚石（此法直到1996年才得到证实）。20世纪60年代，在低压下用气相传输反应制造出了不连续的金刚石。70年代中期，苏联科学家观察到原子氢能促进金刚石的形成和阻止石墨的共生。1980年，塞茨茵（Syitsyn）和杰里亚金（Deryagin）提出用卤化化学气相沉法合成金刚石薄膜。1982年，日本科学家松本（Matsumoto）和佐藤（Sato）等使用热丝化学气相沉积法合成了金刚石薄膜。1986年，日本学者北浜（Kitahama）用激光辅助化学气相沉积法合成了金刚石薄膜。1988年，日本发明家广濑洋一发明了燃烧火焰沉积法（简称“火焰法”），并首次在大气压下合成金刚石薄膜。该方法以乙炔为碳源气体，以氧气为助燃气体，相互混合燃烧生成金刚石薄膜。同年，栗原（Kurihara）用直流电弧等离子喷射化学气相沉积法合成金刚石薄膜。1989年，三津田（Mitsuda）用微波等离子体化学气相沉积法合成金刚石薄膜。同年，中国工程师郑周在常压条件下，用火焰法合成金刚石薄膜。1994年，美国阿贡（Argonne）国家实验室的格伦（Gruen）博士通过这种方法采用C60也合成了金刚石薄膜。1999年，美国ASTEX公司成功研制出75kW、915MHz频率的微波等离子体装置。1993年和1997年，我国相继研制成功了800kW的天线耦合石英钟罩式和5kW的不锈钢腔体天线耦合式微波等离子体装置。